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本发明提供一种发挥优异的环化率且保存稳定性也优异的感光性树脂组合物。并且，提供一种利用了上述感光性树脂组合物的固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件。感光性树脂组合物含有特定的热产碱剂和含杂环聚合物的前体，特定的热产碱剂具有羟基与酰胺...
该专利属于富士胶片株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过富士胶片株式会社授权不得商用。

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