感光性树脂组合物、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件技术

本发明专利技术提供一种发挥优异的环化率且保存稳定性也优异的感光性树脂组合物。并且，提供一种利用了上述感光性树脂组合物的固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件。感光性树脂组合物含有特定的热产碱剂和含杂环聚合物的前体，特定的热产碱剂具有羟基与酰胺结构(‑C(＝O)‑N＝)通过烃基L而连接的结构，L在L中的连接链的路径上具有饱和烃基，且连接链的路径上的原子数为3以上。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】感光性树脂组合物、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件
本专利技术涉及一种含有含杂环聚合物的前体的感光性树脂组合物、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件。
技术介绍
聚酰亚胺树脂、聚苯并噁唑树脂等通过环化而经固化的树脂的耐热性及绝缘性优异，因此适用于各种用途。该用途并无特别限定，但若举出实际安装用半导体器件的例，则可举出作为绝缘膜和密封材的材料或保护膜的利用(参考非专利文献1及2等)。并且，还用作可挠性基板的基膜或覆盖层等。这种聚酰亚胺树脂等通常针对溶剂的溶解性低。因此，常使用以环化反应前的聚合物前体、具体而言，聚酰亚胺前体或聚苯并噁唑前体的状态溶解于溶剂的方法。由此，能够实现优异的操作性，并能够在制作如上述那样的各产品时以各种形态涂布于基板等而进行加工。然后，进行加热并将聚合物前体环化，从而能够形成经固化的树脂。除了聚酰亚胺树脂等所具有的高性能以外，还从这种制造上的适应性优异的观点考虑，更加期待其产业上的应用发展。例如，专利文献1中记载有含有聚酰亚胺前体或聚苯并噁唑前体和具有酚性羟基的光产碱剂的感光性树本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种感光性树脂组合物，其含有：/n由下述式(N1)表示的热产碱剂；及，/n含杂环聚合物的前体；/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180928 JP 2018-1850701.一种感光性树脂组合物，其含有：
由下述式(N1)表示的热产碱剂；及，
含杂环聚合物的前体；



式(N1)中，L表示在连结相邻的氧原子与碳原子的连接链的路径上具有饱和烃基的2价烃基、且所述连接链的所述路径上的原子数为3以上的烃基，RN1及RN2分别独立地表示1价有机基团，且任选地彼此连结而形成环状结构。


2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，
所述式(N1)中的L具有由式(N2-a)或式(N2-b)表示的结构；
-L1-Ar-L2-式(N2-a)；
-Ar1-L3-Ar2-式(N2-b)；
式(N2-a)中，L1及L2分别独立地表示单键或烃基，L1及L2中的至少一个在所述路径上含有饱和烃基，Ar表示亚芳基，式(N2-b)中，L3表示在所述路径上含有饱和烃基的烃基，Ar1及Ar2分别独立地表示亚芳基。


3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中，
所述式(N1)中的RN1及RN2分别独立地为脂肪族烃基。


4.根据权利要求3所述的感光性树脂组合物，其中，
所述式(N1)中的RN1及RN2中的至少一个为具有极性基团的脂肪族烃基。


5.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中，
所述式(N1)中的RN1及RN2彼此连结而形成脂肪族环状结构。


6.根据权利要求5所述的感光性树脂组合物，其中，
所述脂肪族环状结构至少具有极性基团来作为取代基的一部分。


7.根据权利要求1至6中...

【专利技术属性】
技术研发人员：岩井悠，吉田健太，福原敏明，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP