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感光性树脂组合物、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法、半导体元件及热产碱剂技术
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文档序号:28048419
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本发明提供一种固化性及保存稳定性优异的感光性树脂组合物。并且,本发明提供一种利用上述感光性树脂组合物的固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体元件。感光性树脂组合物包含由式(N1)表示的热产碱剂、以及聚酰亚胺前体及聚苯并噁唑前体中的至少一种...
该专利属于富士胶片株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过富士胶片株式会社授权不得商用。
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