【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】感光性树脂组合物、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法、半导体元件及热产碱剂
本专利技术涉及一种含有聚酰亚胺前体及聚苯并噁唑前体中的至少一种的感光性树脂组合物、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体元件。并且，本专利技术涉及一种热产碱剂。
技术介绍
聚酰亚胺树脂、聚苯并噁唑树脂等环化并固化的树脂的耐热性及绝缘性优异，因此适用于各种用途。该用途并无特别限定，但若以实际安装用半导体元件为例，则可举出作为绝缘膜或密封材料的素材或保护膜的利用(参考非专利文献1及2等)。并且，也用作挠性基板的基膜或盖层等。此类聚酰亚胺树脂等通常对溶剂的溶解性低。因此，经常使用以环化反应前的聚合物前体，具体而言，以聚酰亚胺前体或聚苯并噁唑前体的状态溶解于溶剂中的方法。由此，能够实现优异的操作性，且在制造如上述那样的各产品时能够以各种形态涂布于基板等并加工。然后，加热并使聚合物前体环化，从而能够形成已固化的树脂。除了聚酰亚胺树脂等所具有的高性能以外，从此类制造上的适应性优异的观点考虑，越来越期待其在产业上的应用发展。已知有一种在进行...
【技术保护点】
1.一种感光性树脂组合物，其包含：/n由下述式(N1)表示的热产碱剂、以及/n聚酰亚胺前体及聚苯并噁唑前体中的至少一种前体化合物；/n
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180926 JP 2018-1810161.一种感光性树脂组合物，其包含：
由下述式(N1)表示的热产碱剂、以及
聚酰亚胺前体及聚苯并噁唑前体中的至少一种前体化合物；
式(N1)中，
XN表示羟基、羧基及磺酸基中的任一种，
ZN表示氧原子或硫原子，
RN1及RN2分别独立地表示氢原子或碳原子数1～20的烃基，
LN为从相邻氮原子连结至XN为止的3价烃基，且表示构成连结链的原子数为2～6的烃基，
*分别独立地表示氢原子或1价有机基团。
2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，
所述式(N1)中，LN中的连结链的至少一部分为亚芳基的一部分。
3.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，
所述热产碱剂为由式(N2)表示的化合物，
式(N2)中，
XN1及XN2分别独立地表示羟基、羧基及磺酸基中的任一种，
ZN1表示氧原子或硫原子，
RN3及RN4分别独立地表示氢原子或碳原子数1～20的烃基，
LN1及LN2分别独立地表示碳原子数1～20的烃基，
n1表示0或1，
n2表示0～10的整数，
n1及n2之和为1以上，
n3表示1以上的整数，
n1＝1时，LN1为从相邻氮原子连结至XN1为止的2价烃基，且为构成连结链的原子数为2～6的烃基，
n2≥1时，LN2为从相邻氮原子连结至XN2为止的1+n2价烃基，且为构成连结链的原子数为2～6的烃基。
4.根据权利要求3所述的感光性树脂组合物，其中，
所述式(N2)中，XN1及XN2的合计数与ZN1的合计数相等。
5.根据权利要求3或4所述的感光性树脂组合物，其中，
所述式(N2)中，LN1及LN2中的连结链的至少一部分为亚芳基的一部分。
6.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，
所述热产碱剂为包含由式(N3)表示的重复单元的高分子化合物，
式(N3)中，
XN3表示羟基、羧基及磺酸基中的任一种，
ZN2表示氧原子或硫原子，
RN5及RN6分别独立地表示氢原子或碳原子数1～20的烃基，
LN3为从相邻氮原子连结至XN3为止的3价烃基，且表示构成连结链的原子数为2～6的烃基。
7.根据权利要求6所述的感光性树脂组合物，其中，
所述热产碱剂为包含由式(N4)表示的重复单元的高分子化合物，
式(N4)中，
XN4分别独立地表示羟基、羧基及磺酸基中的任一种，
与ZN2独立地，ZN3表示氧原子或硫原子，
与RN5及RN6独立地、RN7及RN8分别独立地表示氢原子或碳原子数1～20的烃基，
LN4为从相邻氮原子连结至XN4为止的4价烃基，且表示构成连结链的原子数为2～6的烃基，
LN5表示2价有机基团。
8.根据权利要求7所述的感光性树脂组合物，其中，
所述LN4中的连结链的至少一部分为亚芳基的一部分。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，
所述式(N1)中的XN为羟基或羧基。
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