温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本文提供了一种粒子分析器，该粒子分析器可操作地连接到探针单元，该探针单元能够从表面驱逐粒子并且在粒子已经被驱逐之后对粒子进行采样。本文所述的装置和方法例如可以是轻型和/或手持的，使得它们可以在洁净室环境内使用，以清洁和采样永久表面和工具。装...
该专利属于粒子监测系统有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过粒子监测系统有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。