下载SiC单晶、SiC晶锭的制造方法和SiC晶片的制造方法的技术资料

文档序号:28047981

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该SiC单晶,穿过俯视中心并沿着<1‑100>方向切断的切断面中的原子排列面、和穿过俯视中心并沿着垂直于所述<1‑100>方向的<11‑20>方向切断的切断面中的原子排列面,向同一方向弯曲。...
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