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涂敷装置制造方法及图纸
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下载涂敷装置的技术资料
文档序号:28047348
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涂敷头具备:涂敷液室,其填充有所述涂敷液;以及喷嘴室,其是从所述涂敷液室连续的流路,其前端开口是所述排出口。控制部具备排出参数决定部,该排出参数决定部将能够与所述涂敷头的排出动作并行地从涂敷液供给部向所述涂敷液室内补给的所述涂敷液的每单位时...
该专利属于日本电产株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本电产株式会社授权不得商用。
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