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本发明公开了一种大尺度转角电磁悬浮微镜的测控系统，包括定子和转子、多个轴向旋转驱动电极、多个径向旋转驱动电极和公共电极，所述定子位于公共电极的圆心位置，多个所述轴向旋转驱动电极呈环形分布于定子上，所述轴向旋转驱动电极的内部设有悬浮线圈，所述...
该专利属于南通速图科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南通速图科技有限公司授权不得商用。

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