一种大尺度转角电磁悬浮微镜的测控系统技术方案

本发明专利技术公开了一种大尺度转角电磁悬浮微镜的测控系统，包括定子和转子、多个轴向旋转驱动电极、多个径向旋转驱动电极和公共电极，所述定子位于公共电极的圆心位置，多个所述轴向旋转驱动电极呈环形分布于定子上，所述轴向旋转驱动电极的内部设有悬浮线圈，所述悬浮线圈的内部设有稳定线圈，所述公共电极的四周均匀设有多个支撑座，所述支撑座的内部设有角度线圈，所述角度线圈的内部设有铁芯，多个所述径向转动电极均匀分布在在转子的圆心四周，所述转子的中心位置安装有反射镜，所述悬浮线圈、稳定线圈和角度线圈的导线两端均设有引脚。本发明专利技术由于采用电磁悬浮结合静电驱动技术，能够实现微镜轴向±180度范围的大旋转角度成像。

【技术实现步骤摘要】
一种大尺度转角电磁悬浮微镜的测控系统
本专利技术涉及微机电系统中的微镜角度调节
，具体领域为一种大尺度转角电磁悬浮微镜的测控系统。
技术介绍
MEMS即微机电系统(MicroelectroMechanicalSystems)，是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域，经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。MEMS微镜是其中的一个典型应用，主要原理是控制微镜(即反射镜)和入射光之间的入射角以控制光线的偏转方向，被广泛用于光纤相位调制器、光学衰减器、光谱仪、光开关等领域。为使MEMS微镜能倾斜一定角度，现有的方法一般是把MEMS微镜安装在扭转梁上，在直流电压的静电驱动下使扭转梁偏转，从而带动微镜旋转一定的角度，改变与入射光之间的入射角度。受机械扭转梁刚度限制，这种方法最多实现±20°范围旋转角，无法实现大角度旋转。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种大尺度转角电磁悬浮微镜的测控系统，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种大尺度转本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种大尺度转角电磁悬浮微镜的测控系统，包括定子(1)和转子(2)，其特征在于：还包括多个轴向旋转驱动电极(3)、多个径向旋转驱动电极(4)和公共电极(5)，所述公共电极(5)呈环形位于装置的外圈，所述定子(1)为圆形且位于公共电极(5)的圆心位置，多个所述轴向旋转驱动电极(3)呈环形分布于定子(1)上，多个所述轴向旋转驱动电极(3)组成的圆环内部设置有悬浮线圈(6)，所述悬浮线圈(6)呈环形结构且内部设置有稳定线圈(7)，所述定子(1)的上表面且位于悬浮线圈(6)和稳定线圈(7)之间设置有稳定线圈支撑环(8)，所述稳定线圈(7)通过稳定线圈支撑柱(9)固定在稳定线圈支撑环(8)上，所述定子...

【技术特征摘要】
1.一种大尺度转角电磁悬浮微镜的测控系统，包括定子(1)和转子(2)，其特征在于：还包括多个轴向旋转驱动电极(3)、多个径向旋转驱动电极(4)和公共电极(5)，所述公共电极(5)呈环形位于装置的外圈，所述定子(1)为圆形且位于公共电极(5)的圆心位置，多个所述轴向旋转驱动电极(3)呈环形分布于定子(1)上，多个所述轴向旋转驱动电极(3)组成的圆环内部设置有悬浮线圈(6)，所述悬浮线圈(6)呈环形结构且内部设置有稳定线圈(7)，所述定子(1)的上表面且位于悬浮线圈(6)和稳定线圈(7)之间设置有稳定线圈支撑环(8)，所述稳定线圈(7)通过稳定线圈支撑柱(9)固定在稳定线圈支撑环(8)上，所述定子(1)的上表面且位于轴向旋转驱动电极(3)和悬浮线圈(6)之间设置有悬浮线圈支撑环(10)，所述悬浮线圈(6)通过悬浮线圈支撑柱(11)固定在悬浮线圈支撑环(10)上，所述公共电极(5)的四周均匀设置有多个支撑座(12)，所述支撑座(12)的内部设置有角度线圈(13)，所述角度线圈(13)的内部设置有铁芯(14)，多个所述径向转动电极(4)均匀分布在在转子(2)的圆心四周，所述转子(2)的中心位置安装有反射镜(15)，所述悬浮线圈(6)、稳定线圈(7)和角度线圈(13)的导线两端均设置有引脚(16)。<...

【专利技术属性】
技术研发人员：秦毅，李春龙，宋立武，曹金龙，
申请(专利权)人：南通速图科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32