下载芯片加工方法、芯片及激光器的技术资料

文档序号:28044803

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本申请总体来说涉激光技术领域,具体而言,涉及一种芯片加工方法、芯片及激光器,芯片采用该芯片加工方法加工而成,激光器安装有该芯片,芯片加工方法包括:在衬底加工芯片层组,去除部分所述芯片层组形成波导区,通过生长方式加工覆盖层,将波导区的覆盖层加...
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