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本实用新型公开一种MEMS麦克风,所述MEMS麦克风包括壳体,所述壳体包括基板及罩盖于所述基板上的封盖;其中,所述基板的外周缘设置有凸出于所述基板的内表面的环形凸台;所述封盖的外周壁设置有搭接槽,所述封盖通过所述搭接槽搭接在所述环形凸台上,...该专利属于青岛歌尔智能传感器有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过青岛歌尔智能传感器有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开一种MEMS麦克风,所述MEMS麦克风包括壳体,所述壳体包括基板及罩盖于所述基板上的封盖;其中,所述基板的外周缘设置有凸出于所述基板的内表面的环形凸台;所述封盖的外周壁设置有搭接槽,所述封盖通过所述搭接槽搭接在所述环形凸台上,...