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本发明涉及一种硅片湿化学处理工艺，通过载具承载硅片以用于处理硅片，硅片湿化学处理设备包括硅片烘干槽，所述硅片烘干槽包括槽本体和设置在所述槽本体内的吸湿装置，所述吸湿装置适于汲取载具的架杆、侧板上以及硅片底部的液体，在对载具进行湿化学处理之后...
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