下载光电芯片和光电芯片的制备方法的技术资料

文档序号:28043568

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本发明涉及芯片测试技术领域,公开了一种光电芯片和光电芯片的制备方法。光电芯片包括:第一区域、第二区域、以及第三区域;其中,第一区域包括衬底、设于衬底上的外延结构、以及设于外延结构上的掩蔽膜;第二区域包括衬底、设于衬底上的外延结构、以及设于外...
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