温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种薄膜晶体管及其制备方法和显示器件，涉及半导体电子器件领域，薄膜晶体管包括衬底、栅极、栅绝缘层、半导体层、钝化层以及源极和漏极；其中，半导体层具有沟道区，且半导体层与钝化层的接触界面处还形成有高导层，源极和漏极与高导层连接，高...
该专利属于广东省科学院半导体研究所所有，仅供学习研究参考，未经过广东省科学院半导体研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。