下载功率MOSFET及其制造方法和电子设备的技术资料

文档序号:28043460

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本公开提供了一种功率MOSFET及其制造方法和电子设备。所述功率MOSFET包括:硅衬底以及所述硅衬底上的硅外延层;多个沟槽,间隔排列且形成在所述硅外延层内;源极多晶硅,形成在所述多个沟槽下部内且被场氧层包围;栅极多晶硅,形成在所述多个沟槽...
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