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鳍状晶体管结构及其制造方法技术
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文档序号:28043438
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本发明公开一种鳍状晶体管结构及其制造方法。鳍状晶体管结构包括第一基板。绝缘层设置在所述第一基板上。多个鳍状结构设置在所述绝缘层上。支撑介电层在所述多个鳍状结构的腰部位置将所述多个鳍状结构固定。栅极结构层,设置在所述支撑介电层上以及覆盖所述多...
该专利属于联华电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过联华电子股份有限公司授权不得商用。
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