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本发明公开了一种用于单粒子效应试验倒装焊器件减薄的工装及方法,属于集成电路芯片减薄技术领域,所述的倒装焊器件指完成芯片倒装焊接的电路。相比于传统方法,利用本发明中的特制工装及方法,可以利用全自动圆片减薄机实现单粒子效应试验倒装焊器件的减薄,...该专利属于北京时代民芯科技有限公司;北京微电子技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过北京时代民芯科技有限公司;北京微电子技术研究所授权不得商用。