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本发明涉及一种控制方法、控制系统以及半导体制造设备，控制方法包括：提供晶圆承载盘，晶圆承载盘内具有静电产生电路，静电产生电路包括第一端口和第二端口；提供第一直流电源以及第二直流电源，第一直流电源连接第一端口，第二直流电源连接第二端口；控制第...
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