温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种降低晶圆上形成凝结物的方法，至少包括：晶圆在真空腔中进行作业；将作业后的晶圆从真空腔中传送至负载锁定腔中进行真空大气转换；将晶圆从负载锁定腔传送至EFEM中，其中EFEM中设有温度湿度控制器；当晶圆进入EFEM中时，EFEM中...
该专利属于华虹半导体(无锡)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华虹半导体(无锡)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。