下载发光二极管晶圆检测装置与方法的技术资料

文档序号:28042907

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本发明公开一种发光二极管晶圆检测装置与方法,发光二极管晶圆检测装置包括:一光产生模块、一光过滤模块以及一光检测模块。光产生模块提供一第一光束,第一光束穿过一发光二极管晶圆,以转换成一第二光束。光过滤模块邻近发光二极管晶圆以接收第二光束,第二...
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