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一种改善平面肖特基产品保护环区域ESD失效的方法。涉及一种半导体扩散工艺。提供了一种分散环区电场强度，从而提高保护环区域抗静电能力的一种改善平面肖特基产品保护环区域ESD失效的方法。通过增加保护环结深，增大保护环边缘耗尽层的曲率半径，实现分...
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