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本实用新型公开了一种刻蚀机装片治具,包括操作台,固定设置在操作台上的支撑框,所述支撑框上设置有可翻转的装片托盘定位框,托盘定位框上设置有可打开的用于压紧晶片的上盖,还设置有可上下移动的支撑底托,支撑底托作用在装片托盘上且可转动。通过本实用新...该专利属于黄山博蓝特半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过黄山博蓝特半导体科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种刻蚀机装片治具,包括操作台,固定设置在操作台上的支撑框,所述支撑框上设置有可翻转的装片托盘定位框,托盘定位框上设置有可打开的用于压紧晶片的上盖,还设置有可上下移动的支撑底托,支撑底托作用在装片托盘上且可转动。通过本实用新...