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本实用新型提供了一种硅片处理装置，硅片处理装置包括：箱体，箱体上设置有腔体和与腔体相连通的排气口，腔体被配置为适于放置硅片；第一喷淋组件，与箱体相连接，第一喷淋组件被配置为向腔体中喷淋液体；排气组件，与排气口相连接，排气组件被配置为抽取腔体...
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