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本实用新型公开了一种晶圆清洗设备，包括箱体，所述箱体的正面固定连接有缓冲箱，所述箱体的背面固定连接有操作箱。本实用新型通过箱体、缓冲箱、操作箱、电机、U型轴、传动杆、活动座、第一移动杆、第一挡板、筛框、第二挡板、第二移动杆、移动板、滑轮、支...
该专利属于上海耀烁电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海耀烁电子科技有限公司授权不得商用。

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