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一种透射电镜高分辨原位流体冷冻芯片制造技术
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文档序号:28037897
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本实用新型公开了一种透射电镜高分辨原位流体冷冻芯片。所述芯片的下片设置有支撑层、冷冻层、绝缘层,孔洞以及中心视窗;所述冷冻层设置有三个接触电极、六对半导体薄膜以及导电金属薄膜;中心视窗的外围有一圈导电金属薄膜,其中心为中心视窗;三个接触电极...
该专利属于厦门大学所有,仅供学习研究参考,未经过厦门大学授权不得商用。
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