温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供了一种用于光芯片波导微小缺陷的检测系统，包括工业相机、第一光学成像装置、第二光学成像装置、第一光源、第二光源、多维调节台和工控电脑，光芯片放置于多维调节台的上端，工业相机与工控电脑连接，工业相机、第一光学成像装置、第一光源、第...
该专利属于上海申赋实业有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海申赋实业有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。