下载一种光掩膜图形位置的检测装置的技术资料

文档序号:28036102

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本实用新型公开了一种光掩膜图形位置的检测装置,包括第一主体和第二主体,所述第二主体的底部固定连接有底座,所述底座的顶部固定连接有第一固定块,所述第一固定块的内部开设有通槽,所述通槽的另一端活动套接有丝杆,所述丝杆的外表面活动连接有滑块,所述...
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