下载一种浸液供给装置的技术资料

文档序号:28032595

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本发明涉及一种浸液供给装置。本发明包括环绕末端物镜的环绕面;环绕面上具有主注液口,顺次经过主进液接口、主供液流路和主注液口向浸没流场提供浸液;主供液流路包括顺次连通的引流流路和出流流路,引流流路连通主进液接口连通,出流流路连通主注液口;引流...
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