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一种浸液供给装置制造方法及图纸
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文档序号:28032595
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本发明涉及一种浸液供给装置。本发明包括环绕末端物镜的环绕面;环绕面上具有主注液口,顺次经过主进液接口、主供液流路和主注液口向浸没流场提供浸液;主供液流路包括顺次连通的引流流路和出流流路,引流流路连通主进液接口连通,出流流路连通主注液口;引流...
该专利属于浙江启尔机电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江启尔机电技术有限公司授权不得商用。
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