下载一种耐刻蚀正性光刻胶的技术资料

文档序号:28032580

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本发明提供了一种耐刻蚀正性光刻胶,其原料包括:5‑40重量份的金属有机配合物复合酚醛树脂、2‑10重量份的重氮类感光剂、45‑80重量份的有机溶剂;所述金属有机配合物复合酚醛树脂的制备方法,包括如下步骤:将金属有机配合物加入到无水乙醇稀释的...
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