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一种阵列式指示光栅结构及其生产工艺制造技术
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文档序号:28032104
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本发明公开了一种阵列式指示光栅结构及其生产工艺,包括第一外壳,所述第一外壳的内部固定连接有第二光栅板,所述第二光栅板的前表面开设有第二光栅刻线,所述第二光栅板的前表面对称固定连接有两个滑轨;本发明通过光栅刻板选材、光刻显影、光栅板刻线和光栅...
该专利属于山东大学所有,仅供学习研究参考,未经过山东大学授权不得商用。
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