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强度测量方法和样品技术
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文档序号:28030219
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本发明实施例提供了一种强度测量方法和样品。其中,所述方法包括:通过提供待测半导体结构;选择所述待测半导体结构中的具有目标尺寸的部分区域作为待测试区域;去除待测试区域下方的部分结构,以使所述待测试区域悬空;对所述待测试区域施加载荷;确定所述待...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。
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