下载强度测量方法和样品的技术资料

文档序号:28030219

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明实施例提供了一种强度测量方法和样品。其中,所述方法包括:通过提供待测半导体结构;选择所述待测半导体结构中的具有目标尺寸的部分区域作为待测试区域;去除待测试区域下方的部分结构,以使所述待测试区域悬空;对所述待测试区域施加载荷;确定所述待...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。