下载LED芯片检测装置及LED芯片检测方法的技术资料

文档序号:28029661

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本发明提供一种LED芯片检测装置及LED芯片检测方法,其中LED芯片检测装置包括芯片检测台、显微物镜、中继透镜、半反半透镜、滤光片、CCD检测器、白光光源和紫外光源,芯片检测台包括固定架和载台;显微物镜、中继透镜、半反半透镜和滤光片由下至上...
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