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本申请公开了一种检测装置、激光等离子光源及其调节方法，检测装置包括探测器和控制器，探测器设置于激光等离子光源的真空室内，控制器与探测器连接并接收探测器所获取的反馈信号，控制器根据反馈信号判断激光等离子光源的发光情况；激光等离子光源包括该检测...
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