【技术实现步骤摘要】
检测装置、激光等离子光源及其调节方法
本申请涉及高能射线领域，更具体地涉及用于检测激光等离子光源发光情况的检测装置、包括该检测装置的激光等离子光源及其调节方法。
技术介绍
激光等离子光源是一种通过高能激光聚焦在靶材上产生致密等离子体并向外辐射射线的装置，其产生的射线包含可见光、极紫外、软X射线等，是光刻机、软X射线成像等仪器的关键部件。激光等离子光源的靶材通常包括固体、液体和气体，其中液体靶材的密度远远大于气体靶材，而且避免了固体靶材容易产生碎屑的缺点，是一种较为理想的靶材。采用液体靶材的激光等离子光源中，目前能获得最优分辨率和最快成像时间的解决方案为液氮微流靶激光等离子光源。液氮微流靶激光等离子光源的基本原理如下：首先将高纯氮气通过冷凝箱进行液化，并施加高压使其通过微孔喷嘴喷射而出，形成直径50微米以下、长度10毫米以上的柱状液氮微流；然后采用聚焦镜将高能激光束进行聚焦，形成微米尺度的聚焦光斑，通过调节激光光路，使得聚焦光斑作用在液氮微流上，形成点状激光等离子光源。聚焦光斑和液氮微流的位置匹配情况直接影响了激光等离...
【技术保护点】
1.一种检测装置，其特征在于，所述检测装置包括：/n探测器，所述探测器设置于激光等离子光源的真空室内；/n控制器，所述控制器与所述探测器连接并接收所述探测器获取的反馈信号，所述控制器根据所述反馈信号判断所述激光等离子光源的发光情况。/n
【技术特征摘要】
1.一种检测装置，其特征在于，所述检测装置包括：
探测器，所述探测器设置于激光等离子光源的真空室内；
控制器，所述控制器与所述探测器连接并接收所述探测器获取的反馈信号，所述控制器根据所述反馈信号判断所述激光等离子光源的发光情况。
2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述探测器为光学探测器，所述光学探测器将所述激光等离子光源产生的光信号转换为电信号，所述电信号为反馈信号。
3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述光学探测器为光电二极管或者耦合有滤片的光电二极管。
4.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述探测器为声学探测器，所述声学探测器将所述激光等离子光源的残余激光与激光收集器作用而产生的声信号转换为电信号，所述电信号为反馈信号。
5.根据权利要求4所述的检测装置，其特征在于，所述声学探测器为声音传感器或者耦合有滤波器的声音传感器。
6.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括显示器或计算机，所述显示器或所述计算机与所述控制器连接以显示所述控制器的判断结果。
7.一种激光等离子光源，其特征在于，包括如权利要求1-6中任一项所述的检测装置。
8.根据权利要求7所述的激光等离子光源，其特征在于，所述激光等离子光源还包括：
激光器，所述激光器发出激光束；
反射镜，所述反射镜设置于所述激光束的光路上以反射所述激光束；
聚焦镜，所述聚焦镜设置于真空室上，所述聚焦镜同时位于所述激光束的光路上并将所述激光束聚焦；以及
靶材，所述靶材位于所述真空室内，所述激光束作用于所述靶材。
9.根据权利要求8所述的激光等离子光源，其特征在于，所述激光等离子光源还包括驱动器，所述驱动器与所述控制器连接以接收所述控制器产生的调节指令，所述反射镜设置于所述驱动器上。
10.根据权利要求9所述的激光等离子光源，其特征在于，所述驱动器包括电机、电动旋转台、电动微分头。
11.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：郑睿，肖鹏，谢庆国，钟胜，王卫东，唐江，褚倩，白翔，
申请(专利权)人：苏州瑞派宁科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。