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分析设备、分析方法、干涉测量系统和存储介质技术方案
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文档序号:28028779
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本发明涉及一种分析设备、分析方法、干涉测量系统和存储介质。该分析设备(200)包括:获取部(210),用于从干涉测量设备获取基于具有多个不同波长的光的多个干涉图像;去除部(230),用于通过去除多个干涉图像中的各像素的干涉信号中所包含的非干...
该专利属于株式会社三丰所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社三丰授权不得商用。
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