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本实用新型公开了一种12英寸物理气相沉积钛腔体加热底座保护配件，包括：配件本体，所述配件本体整体呈圆环状结构设置且在其表面设置刻花，所述刻花呈十字型结构并倾斜设置，所述刻花与配件本体之间通过雕刻的方式一体成型，所述刻花的内部设有凹槽且凹槽呈...
该专利属于上海知昊电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海知昊电子科技有限公司授权不得商用。

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