下载气体注入系统和包括其的反应器系统的技术资料

文档序号:28022408

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公开了一种气体注入系统、包括所述气体注入系统的反应器系统以及使用所述气体注入系统和反应器系统的方法。气体注入系统可用于气相反应器系统中,以独立地监测和控制联接到反应室的气体注入系统的多个通道中的气体流速。...
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