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本发明涉及一种适用于溅射镀膜机的加热方法及加热系统，其特征在于：对所述可旋转基板架上的基板进行一一对应的加热，即每个所述基板均具有相独立的且设置在所述可旋转基板架上的加热源，所述加热源对所述基板进行加热，且所述加热源是通过并联的方式进行加热...
该专利属于光驰科技(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过光驰科技(上海)有限公司授权不得商用。

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