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本发明提供用于在将基板和掩模对准之后使基板和掩模紧贴时应对基板保持机构与掩模保持机构的相对姿势变化的技术。使用成膜装置，该成膜装置具备：支承基板的基板保持机构；与基板大致平行地支承掩模的掩模保持机构；使基板保持机构和掩模保持机构中的至少一方...
该专利属于佳能特机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过佳能特机株式会社授权不得商用。

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