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本发明涉及一种CIGS共蒸法的硒源外置式结构，解决CIGS共蒸法的各元素蒸发源蒸发温度高低差异大，铜源、铟镓合金源的高温辐射对硒源相邻侧的温度产生影响，会导致硒源蒸发不稳定，影响产品质量的问题。本装置包括真空腔，真空腔内设有待镀膜的基底，其...
该专利属于尚越光电科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过尚越光电科技股份有限公司授权不得商用。

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