下载一种电致变色复合膜系中氧化钨层的制备方法的技术资料

文档序号:28022291

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本发明公开一种电致变色复合膜系中氧化钨层的制备方法,包括以下步骤:S1、选用电阻率为20欧姆的ITO镀膜玻璃作为为衬底;S2、将衬底装入样品架,送入磁控溅射镀膜腔室中;S3、对磁控溅射镀膜腔室抽真空,使真空度达到8.0*10...
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