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本发明涉及一种太阳能电池的处理设备。一种柔性CIGS薄膜反应溅射羽流控制的真空系统，包括腔体，在腔体内设有油温鼓，在油温鼓下方设有若干个铜罩，在铜罩与油温鼓之间为卷材通道，所述的铜罩朝向卷材一侧开口，在铜罩内设有靶材和导气管，所述的导气管上...
该专利属于尚越光电科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过尚越光电科技股份有限公司授权不得商用。

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