【技术实现步骤摘要】
一种柔性CIGS薄膜反应溅射羽流控制的真空系统
本专利技术涉及一种太阳能电池的处理设备，尤其涉及一种柔性铜铟镓硒薄膜太阳能薄膜电池的磁控溅射真空设备。
技术介绍
当今全球光伏市场是以晶体硅太阳能电池为主，但高能耗的生产工艺导致能源资源的快速消耗将使社会无法承受，也必将制约着光伏产业更大规模的发展。因此，发展低成本、新型薄膜太阳能电池是未来国际光伏产业的必然趋势。以铜铟镓硒为吸收层的高效薄膜太阳能电池统称为铜铟镓硒电池（CIGS电池），CIGS薄膜太阳能电池作为一种柔性太阳能电池，其特点是技术要求高、具有可携带性、无光致衰变现象、转换效率高、性能较稳定。柔性太阳能电池生产时需要在柔性太阳能电池卷上进行材料溅射，现有真空溅射生产过程中，抽真空消耗时间过长，真空度不达标，导致镀膜工艺不均匀。
技术实现思路
本专利技术提供了一种形成的羽流状态好，对于不同材料的溅射的可控性强，镀膜均匀效果好的一种柔性CIGS薄膜反应溅射羽流控制的真空系统结构；解决了现有技术中存在的一种溅射羽流不稳定，镀膜不均匀，对...
【技术保护点】
1.一种柔性CIGS薄膜反应溅射羽流控制的真空系统，包括腔体，在腔体内设有油温鼓，在油温鼓下方设有若干个铜罩，在铜罩与油温鼓之间为卷材通道，其特征在于：所述的铜罩朝向卷材一侧开口，在铜罩内设有靶材和导气管，所述的导气管上连接有气体流量计，所述的导气管上设有气孔。/n
【技术特征摘要】
1.一种柔性CIGS薄膜反应溅射羽流控制的真空系统，包括腔体，在腔体内设有油温鼓，在油温鼓下方设有若干个铜罩，在铜罩与油温鼓之间为卷材通道，其特征在于：所述的铜罩朝向卷材一侧开口，在铜罩内设有靶材和导气管，所述的导气管上连接有气体流量计，所述的导气管上设有气孔。
2.根据权利要求1所述的一种柔性CIGS薄膜反应溅射羽流控制的真空系统，其特征在于：所述的靶材沿着卷材的宽度方向布置，导气管位于靶材的下方。
3.根据权利要求1或2所述的一种柔性CIGS薄膜反应溅射羽流控制的真空系统，其特征在于：所述的靶材为圆柱状，靶材的长度与卷材的宽度相同。
4.根据权利要求1或2所述的一种柔性CIGS薄膜...
【专利技术属性】
技术研发人员：于金杰，任宇航，罗明新，马林，
申请(专利权)人：尚越光电科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33
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