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一种晶圆加工用硅圆片切割设备制造技术
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下载一种晶圆加工用硅圆片切割设备的技术资料
文档序号:28011938
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本发明公开了一种晶圆加工用硅圆片切割设备,其结构包括切割主机、视窗、维修箱、控制面板、警示灯,切割主机前表面嵌固安装有视窗,并且切割主机下端设有维修箱,将晶圆放置在外框内部,夹片对晶圆的两侧进行夹紧,通过导向块对金刚石线进行导向,防止金刚石...
该专利属于林斌发所有,仅供学习研究参考,未经过林斌发授权不得商用。
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