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本实用新型公开了用于晶圆清洗烘干的充气式主轴密封装置，属于密封技术领域，包括盖板，所述盖板的底端镶嵌连接有底板，所述底板的下方插接有气垫，所述气垫的两侧固定安装有侧腔，所述侧腔的内部固定安装有弹簧A，所述弹簧A的一端间隙连接在磁铁A的一端，...
该专利属于嘉兴晶装电子科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过嘉兴晶装电子科技股份有限公司授权不得商用。

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