下载气体供给系统和推定气罐的内部压力的方法的技术资料

文档序号:27980961

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本发明的气体供给系统具备气罐、将从气罐供给的气体的压力减压的非平衡式减压阀、检测减压阀的二次侧的压力的压力传感器、变更减压阀的二次侧的流量的流量变更部、以及控制部。控制部使减压阀的二次侧的流量在第1流量与第2流量之间变更,从压力传感器取得作...
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