下载一种Ti/Sb多层纳米复合相变存储薄膜材料及其制备方法和应用的技术资料

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本发明涉及一种Ti/Sb多层纳米复合相变存储薄膜材料及其制备方法和应用,由Ti金属层和Sb金属层在基层材料上交替沉积复合而成,将Ti金属层和Sb金属层作为一个交替周期;膜结构表达通式为:[Ti...
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