下载锑化铟芯片的制备方法的技术资料

文档序号:27980676

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本申请公开了一种锑化铟芯片的制备方法,该制备方法包括:制备一个第一预设厚度的n型锑化铟单晶晶圆;对所述锑化铟单晶晶圆的正面进行化学腐蚀以除去第二预设厚度的损伤层;对所述锑化铟单晶晶圆的正面进行半导体掺杂以使所述锑化铟单晶晶圆具有一个第一预设...
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