下载一种新型高速高隔离度pHEMT微波开关芯片的技术资料

文档序号:27980601

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本发明公开了一种新型高速高隔离度pHEMT微波开关芯片,包括衬底层,衬底层上设置有半导体层,半导体层由层叠的若干半导体子层构成,半导体层顶部设置源极、漏极和栅极,所述栅极位于源极和漏极之间,源极与栅极之间、漏极与栅极之间分别存在空隙,形成两...
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