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三维存储器结构及其制备方法技术
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文档序号:27980513
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本发明提供一种三维存储器结构及其制备方法,所该三维存储器结构包括半导体层,包括沿第一方向依次设置的核心区域、台阶区域及外围区域;底部选择栅堆叠结构,形成于所述半导体层上;介质支撑结构,位于所述台阶区域内,所述介质支撑结构依次贯穿所述底部选择...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。
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